SK하이닉스, EUV 활용 10나노급 4세대 D램 양산

SK하이닉스가 10나노급 4세대(1a) 미세공정을 적용한 8기가비트(Gbit) LPDDR4 모바일 D램의 양산을 이달 초 시작했다. LPDDR4는 이동식 디바이스용으로 개발된 저전력 D램이다. 반도체 업계는 10나노대 D램부터 세대별로 알파벳 기호를 붙여 호칭하고 있으며, 1x(1세대), 1y(2세대), 1z(3세대)에 이어 1a는 4세대 기술이다. 1a 기술이 적용된 모바일 D램 신제품은 하반기부터 스마트폰 제조사들에게 공급 예정이다. 이 제품은 SK하이닉스의 D램 중 처음으로 EUV 공정 기술을 통해 양산된다는 의미가 있다. EUV는 극자외선을 이용해 빛을 투사해주는 노광 장비다. SK하이닉스는 앞서 1y(2세대) 제품 생산 과정에서 EUV를 일부 도입해 안정성을 확인한 바 있다.

김명근 기자 dionys@donga.com