삼성-ASML, 1조 투자…국내에 R&D센터 설립

윤석열 대통령의 국빈방문을 계기로 한국과 네덜란드 정부 및 기업이 반도체 분야 협력 MOU를 체결했다. ASML 본사에서 열린 MOU 체결식에 참석한 최태원 SK 회장, 윤석열 대통령, 빌렘-알렉산더 네덜란드 국왕, 이재용 삼성전자 회장, 피터 베닝크 ASML 회장(왼쪽부터). 사진 | 뉴시스

한국-네덜란드, 3건의 반도체 협력 MOU 체결

ASML, EUV 노광장비 전 세계 유일 생산
차세대 초미세 첨단반도체 공정기술 개발
SK, 수소가스 재활용 기술 공동개발 나서
한-네덜란드, ‘첨단반도체 아카데미’ 신설

네덜란드의 반도체 장비 업체 ASML이 삼성전자와 함께 약 1조 원을 투자해 차세대 EUV(극자외선)장비를 활용해 초미세 첨단반도체 공정기술을 개발하는 연구팹을 국내에 건립하기로 했다. ASML은 SK하이닉스와도 EUV를 친환경적으로 활용해 에너지 소모량을 감축할 수 있는 기술을 공동 개발하기로 했다. ASML은 첨단 반도체 제조에 쓰이는 EUV 노광장비를 전 세계에서 유일하게 생산하는 기업이다. 반도체 업계에선 ‘슈퍼을’로도 불린다.


●반도체 협력 MOU 3건 체결

13일 대통령실에 따르면 윤석열 대통령의 네덜란드 국빈방문을 계기로 양국 정부와 기업 등이 3건의 반도체 분야 협력 양해각서(MOU)를 체결했다. 특히, 우리나라 대표 반도체 기업인 삼성전자와 SK하이닉스가 ASML과 협력하기로 해 관심을 모았다. 이번 순방에는 이재용 삼성전자 회장과 최태원 SK회장이 함께 했다.

글로벌 반도체 시장에서 ‘미세공정’은 경쟁의 핵심 요소다. 국내 반도체 경쟁력 강화를 위해선 관련 장비를 유일하게 생산하고 있는 ASML과의 파트너십 구축이 중요하다.

ASML은 12일(현지시간) 삼성전자와 함께 1조 원을 투자해 차세대 EUV 기반으로 초미세 공정을 공동 개발하는 ‘차세대 반도체 제조기술 R&D센터’를 한국에 설립하는 MOU를 체결했다. ASML이 반도체 제조기업과 공동으로 해외에 반도체 제조 공정을 개발하기 위한 R&D센터를 설립하는 것은 이번이 처음이다.

SK하이닉스는 ASML과 ‘EUV용 수소가스 재활용 기술개발 MOU’를 체결했다. EUV 장비 내부의 수소를 태우지 않고 재활용할 경우, 전력 사용량은 20% 줄고, 연간 165억 원의 비용이 감축될 것으로 기대된다. 정부는 이번 MOU가 차질없이 이행될 수 있도록 지원을 아끼지 않을 계획이다.

정부는 또 산업통상자원부와 네덜란드 외교부가 최첨단 반도체 생산장비를 활용해 양국 대학원생에게 현장 학습 기회를 제공하는 ‘한-네덜란드 첨단반도체 아카데미’를 신설하는 협력 MOU를 체결했다고 밝혔다. 아카데미는 양국에서 100명이 참석한 가운데 내년 2월 네덜란드에서 첫 번째 교육을 시작할 예정이다. 한국의 반도체 관련 학생들과 재직자들은 ASML 본사는 물론 에인트호벤 공대가 제공하는 교육 기회를 얻게 된다.


●반도체 기업 대표 간담회도

이날 MOU 체결에 앞서 윤석열 대통령과 빌렘-알렉산더 네덜란드 국왕은 ASML 본사에서 한국과 네덜란드, 유럽의 주요 반도체 기업 대표들과 간담회를 가졌다. 간담회에는 삼성전자, SK하이닉스, ASML은 물론 ASM(네덜란드, 증착장비), Zeiss(독일, 광학시스템), IMEC(벨기에, 반도체 연구기관) 대표들이 참석했다.

한편, MOU 체결 이후 양국 정상은 ASML의 클린룸을 함께 방문해 차세대 EUV 장비 생산 현장을 둘러봤다.

김명근 기자 dionys@donga.com 기자의 다른기사 더보기